製作晶片難度變高，連「量、洗、送」都成了新生意！先進製程與矽光子往前推，晶圓尺寸量得準不準、洗得乾不乾淨，做好能不能快速送到下一站，都會影響良率與生產穩定。佳世達看上這塊市場，旗下資騰科技從量測、清洗一路做到廠內物流，搶攻先進製程與矽光子商機。
資騰總經理陳國榮指出，隨著先進製程與矽光子快速發展，量測設備可信度、晶圓清潔品質及廠內物流效率，已成為影響良率與生產穩定性的關鍵因素，資騰這次端出3套方案，協助客戶跨製程管理，降低生產風險、提升整體效能。
晶片愈小 第一關先怕量不準
晶片線路愈縮愈小，量測難度也跟著升高。先進製程使用不同世代、不同品牌的CD-SEM，設備差異及狀態漂移，都可能影響不同機台之間的量測一致性。
資騰導入Fractilia FAME EDGE持續監控設備狀態，找出量測異常。據Fractilia資料指出，Low-NA EUV的理論解析能力，與受到隨機效應限制的量產解析能力，可能出現約5奈米落差。
這套量測技術也切入矽光子，可掌握光波導側壁的結構變異，降低光散射與傳輸損耗。資騰表示，目前Fractilia相關方案已獲全球超過30家半導體及矽光子企業採用。
洗不乾淨不行 洗傷晶圓也不行
晶圓經過一道道製程，邊緣與背面可能留下微粒及污染物，不只得洗乾淨，還不能在清洗過程傷到晶圓。
資騰導入ProSys兆聲波晶圓清洗，以非接觸方式清除晶圓邊緣及背面的微粒與污染物，旗下MegPie單晶圓清洗系統在化學機械研磨後清洗測試中，微粒清除效率達98%。
晶圓廠也會塞車 排隊少近一半
晶圓在廠內還得不斷往返不同設備，製程愈複雜、搬運量愈大，物流也可能拖慢生產。
資騰表示，SEMI-TS把天車系統與無塵輸送帶結合，讓輸送帶分擔原本集中在天車的搬運量，這套系統已在中國及韓國建置，依已投產系統數據，排隊延遲可降低接近50％。
佳世達透過資騰往半導體產線走，瞄準先進製程升級後增加的設備需求，並鎖定過去較少被外界注意的量測、清洗及廠內物流等環節，企圖把半導體生意做大。